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高纯铜靶材--背靶如何使用,操作指南

[ 发布日期:2018-06-11 点击:1076 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]

一、背靶材料

无氧铜(OFC)– 目前最常使用的作背靶的材料是无氧铜,因为无氧铜具有良好的导电性和导热性,而且比较容易机械加工。 如果保养适当,无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。

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(Mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下,如需要进行高温帖合的条件下,无氧化铜容易被氧化和发生翘曲, 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配,同样也需要使用金属钼作为背靶材料。

不锈钢管(SST)– 目前最常使用不锈钢管作为旋转靶材的背管,因为不锈钢管具有良好的强度和导热性而且非常经济

 铜靶材

二、背靶重复使用

大部分背靶可以重复使用,尤其是采用金属铟进行帖合的比较容易进行清洁和重新使用。如果是采用其他帖合剂(包括环氧树脂)则可能需要采用机械处理的方式对背靶表面处理后才能重复使用。 

当我们收到用户提供的已使用过的背靶后,我们会首先进行卸靶处理(如适用)并且对背靶进行完全检查,检查的重点包括背靶的平整度,完整性及密封性等。我们会通知用户对背靶的检查结果,如我们发现有需要维修的地方会书面通知客户并提供维修报价

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三、包装和运输

所有已贴合靶材包装在真空密封塑料袋中,并附有防潮剂。外包装一般为木箱,四周有防撞层,以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。

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