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技术中心成功研制出大尺寸、高致密度二硫化钼溅射靶材

[ 发布日期:2018-07-09 点击:788 来源:洛阳高新四丰电子材料有限公司 【打印此文】 【关闭窗口】]

日前,技术中心依托承担的公司科研项目,成功研制出大尺寸、高致密度二硫化钼溅射靶材产品,并开始客户的使用认证。

二硫化钼靶材主要用于溅射制备二硫化钼薄膜产品。二硫化钼溅射薄膜与离子镀膜、刷镀膜粘结膜相比,因其具有更高的耐磨寿命和更低的运动摩擦系数,主要用于空间精密机械,包括卫星活动部件和精密滚动轴承等真空润滑。

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由于二硫化钼在潮湿空气环境中易吸湿导致其润滑性能下降,且抗氧化性能较弱,主要应用于真空和没有水蒸汽的环境中。近年来,研究人员发现,在二硫化钼薄膜溅射过程中加入TiZr等元素可增加薄膜的抗氧化性和耐湿性能。这一发现使二硫化钼薄膜的应用领域从真空环境拓宽至大气环境。因此,市场对二硫化钼靶材的需求量和质量都提出更高的要求。技术中心从方案制定、工艺调整、工艺优化整个研究过程中,将理论与经验相结合、不断摸索前行,最终研制出长度大于300mm、宽度大于200mm、相对密度大于95%的大尺寸、高致密度二硫化钼靶材产品,各项指标赶超市场水平。日前,客户已对二硫化钼靶材产品的使用性能展开测试评价。

二硫化钼靶材是一种高附加值产品。该产品的成功研制,标志着技术中心又一依托科研项目制备的新产品取得实质性突破,也为公司再增加一新产品种类。

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